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碳化硅装备
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产品
主要技术指标
1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室内径1400mm，副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场，可拉制10英寸以下直径的晶体;
3、加热方式:电阻加热，DC电源Pmax=150:50Kw，频率50Hz;
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设备优势
主要部件均采用知名品牌,稳定性高,耐用性强。
采用精度P3级滚珠丝杆传动,精度高。
铸件采用高等级灰口铸铁,具有更好的抗弯及抗扭应力。
可选配三级过滤水箱或纸带式过滤器,保持切削液清洁，提高加工性能及刀具寿命,减少环境污染。
硬轨全人工刮研,导轨贴合面采用贴塑处理,降低阻尼系数,提高机床精度。
可选配常规、密集型以及一体式电磁吸盘,通用性强。
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